一、项目背景

有机试剂中杂质含量一直是我国智能制造、半导体行业质量提升的技术瓶颈。为此，上海市计量测试技术研究院开展了《智能制造、半导体装备等高端制造业用有机试剂相关杂质检测技术研究》的项目研究，形成了相应的标准检测方法，技术指标满足企业工艺生产的要求，解决了有机试剂中水分、金属元素等杂质检测难题，有助于企业建立符合国际标准的工艺流程，提升了产品质量，增强企业的海外市场竞争力。

二、研究内容

项目承担单位重点研究了有机试剂中水分、金属元素等杂质的检测方法。项目研究流程如下图所示。

项目从检测环境条件、前处理技术、仪器测定技术、方法不确定性评估等方面进行研究，形成了智能制造、半导体等高端制造业用有机试剂水分、金属元素等杂质的标准检测方法，解决了生产工业中相关杂质的检测难题。

项目成果依托上海市科委的“电子化学品计量检测服务平台”对外开放、共享，服务于多家智能制造半导体企业，仅 2017年对外出具的检测报告就上百份，为企业建立符合国际标准的工艺流程提供了技术支持，提高企业的产品质量，减少经济损失。

此外，项目成果应用于国家科技部的重大专项、高端制造业相关产品的生产研发过程，获得了上海新进半导体制造有限公司、杭州富通翔骏新材料有限公司等的认可，为智能制造、半导体装备等行业的产品借力“一带一路”进一步走出国门提供技术支撑。

               三、成果应用

              （一）解决芯片制造的“浸没式光刻机进样装置”污染难题

应用《智能制造、半导体装备等高端制造业用有机试剂相关杂质检测技术研究》项目形成的标准检测方法，成功解决了浙江大学承担的“浸没式光刻机进样装置”被污染的难题。项目成果为进一步完成核心电子器件、高端通用芯片的自主化提供了保障。

（二）应用于国家科技部重大专项 02“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”（以下简称：02专项）。

项目承担单位对接02专项提出的掌握核心技术，开发关键产品的总体要求，应用《智能制造、半导体装备等高端制造业用有机试剂相关杂质检测技术研究》项目研究成果，为上海新昇半导体企业提供技术生产工艺流程解决方案和企业人员培训方案：一是定制开发了28nm 新工艺所需电子化学品的检测方法；二是提供量产测试厂房中电子级水质纯化系统等技术方案，实现了在线检测、设备原位计量； 三是通过培训提升了企业人员的操作技术。从长远来看，项目成果有助于打破我国大尺寸硅材料基本依赖进口的局面，助力完善我国的半导体产业链，为我国深亚微米极大规模集成电路产业的蓬勃发展奠定坚实的技术基础。

(三）应用于企业生产的工艺流程改造及验收

本项目研究成果成功应用于上海华力微电子有限公司承担的国家大规模集成电路芯片生产线的项目“909 工程”和“910 工程”，为企业提供了55-40-28nm 整套电子级试剂的验收方案和关键杂质控制方案，帮助企业完成了华力一期改造验收工作，打破了国内高端制造业企业验收环节全部依靠外国公司的局面。